Страница 235 из 507

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 06:34:28
vasutkin
Добрый день всем.
Читаю тему, но вот никак не могу понять как настраивается время засверки маски и фоторезиста.
Получается что играемся только разрешением и скоростью. Следовательно при меньшей скорости увеличиваем время назождения лазера с одной точке?

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 08:39:42
mial
vasutkin писал(а):Следовательно при меньшей скорости увеличиваем время назождения лазера с одной точке?
Все правильно. Но вообще то есть ползунок К это мощность лазера. Им обычно и регулируем, а скорость лично я всегда использую 1000 мм/сек. Так как лазер у меня 700 мВт, то хватает и на резист и на маску.

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 11:26:15
vasutkin
mial, т.е. в вашем случае скорость для маски и резиста всегда 1000, разрешение тоже а вот мощьность меняется?
И межете дать ссылку на свой лазер?

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 11:47:36
Ruzik
Forward писал(а):Не пробовал увеличить скорость засветки с помощью разрешения 1200 * 600 (или 800 или ...)? :wink:
Если честно, я не понял. :dont_know:

У меня лента 300LPI, то есть минимальное разрешение 1200. Стол 400 точек на 1000 мкм., если поставить стол в настройках программы 600 точек на 1000 мкм, то размер по Y убегает и прилично, не говоря уже о 800 и более.
Делитель на шаговик увеличить, так он у меня самый максимальный 1/16 сейчас.

Что имелось в виду?

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 11:51:32
mial
vasutkin Все так, по маске смотря какая. Для серии PSR4000 1000 мм, для FSR8000 ставлю 800 мм, у ней чувствительность меньше.
Покупал тут http://www.ebay.com/itm/405nm-700mW-Vio ... 2104a42bbe

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 12:10:42
vasutkin
mial, спасибо! а в каком корпусе?

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 12:13:15
mial
Стандартный, скока там не помню, 5 с чем то мм

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 12:18:29
Forward
Ruzik писал(а):У меня лента 300LPI, то есть минимальное разрешение 1200.
Это я помню, поэтому и вопрос был адресный, но несколько ... провокационный. :oops:
Дело в том, что сейчас на практике изменение разрешения по Y можно организовать м-м-м... несколько неудобным способом: путем предварительной обработки исходного файла (масштабированием по Y), скармливанием данного файла УП и последующим выводом на печать с измененным шагом в настройках установки. Это мало чем отличается от предварительной подготовки гербера в сторонних программах и легко реализуется на программном уровне, если у кого-нибудь дойдут до этого руки. :)
Практическая инструкция:
- исходный bitmap сжимаем в 2 раза по Y (получаем разрешение 600);
- загружаем в HLDI (выглядит неважно);
- увеличиваем число шагов на единицу перемещения по Y в настройках HLDI в 2 раза;
- экспонируем.
А вообще, для оптимизации работы установки есть еще много разных возможностей. :))

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 12:43:46
vsteshak
[uquote="mial",url="/forum/viewtopic.php?p=3181423#p3181423"]vasutkin Все так, по маске смотря какая. Для серии PSR4000 1000 мм, для FSR8000 ставлю 800 мм, у ней чувствительность меньше.
Покупал тут http://www.ebay.com/itm/405nm-700mW-Vio ... 2104a42bbe[/uquote]
какое у него состояние ? на картинке паянный, а в описании "Item condition: New"

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 12:45:39
SDimok
[uquote="Forward",url="/forum/viewtopic.php?p=3181444#p3181444"]А вообще, для оптимизации работы установки есть еще много разных возможностей. :))[/uquote]
Огласите пожалуйста весь список :)

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 12:47:54
mial
Они выдраны из новых блюрей приводов. Поэтому паяный, и в тоже время новый. Не переживайте, чем и хорош этот диод, что проживет отпущенный срок. Я его использую на токе 260 мА, а это половина от его мощности. Все старые диоды обычно дохли на маске через пару месяцев. Этому хоть бы хны.

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 13:03:12
Ruzik
Forward
Правильно ли я понял?
Загружаем гербер в HLDI, разрешение по Х 1200 (в моем случае).
Сохраняем BMP.
Потом этот BMP убавляем по Y в 2 раза..

Изображение Изображение

Затем открываем его в HLDI, устанавливаем разрешение по Y 800 вместо 400..

Изображение

А почему именно в 2 раза? А если уменьшить в 4 раза исходник по Y и в HLDI увеличить точность стола до 1600 (в 4 раза), получится?
Если вдруг приспичит засветить при 2400 по Х, то уже нужен новый BMP, сохраненный из HLDI при множителе 2?

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 13:29:19
KPG
Forward писал(а):,А вообще, для оптимизации работы установки есть еще много разных возможностей. :))
Перейти на смешанно (векторно-растровый) протокол управления процессом засветки? :)

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 13:41:50
Forward
Ruzik писал(а):А почему именно в 2 раза?
Это самое "честное" программное преобразование, но можно использовать любой коэффициент, который приводит к удовлетворительному результату. Главное, что он должен быть одинаковым при сжатии картинки и увеличении числа шагов. :)

Но, я все-таки надеюсь, что вопрос отвязки шага по Y от шага по X будет решен на программном уровне - так как здесь можно получить наибольший технологический профит по скорости засветки фоторезиста.
Увеличение же скорости каретки приводит к непропорциональному изменению времени засветки. На моем опыте - увеличение скорости каретки в 1,5 раза (в моем случае 1500 мм/сек) приводит к уменьшению суммарного времени засветки лишь на 12-16%.
SDimok писал(а):Огласите пожалуйста весь список :)
Тут надо разбивать на разделы:
1.Технологические удобства
- ну тут и без меня много сказано
2.Скорость работы - все что ведет к увеличению K на шкале регулятора мощности лазера в порядке важности, по моему мнению:
- возможность подстройки индивидуального шага по Y (я долго и безуспешно пытался спрашивать про минимальную ширину засветки в боевых условиях)
- увеличение скорости перемещения каретки (в разумных пределах)
- пропуск пустых строк
- и т.д.
3.Другое
KPG писал(а):Перейти на смешанно (векторно-растровый) протокол управления
Боюсь, что в данном конструктивном исполнении это сильно затруднительно

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 13:50:39
vasutkin
[uquote="mial",url="/forum/viewtopic.php?p=3181441#p3181441"]Стандартный, скока там не помню, 5 с чем то мм[/uquote]
Это железный, круглый... и не греется на половине мощности?

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 14:00:29
Ruzik
Forward
При уменьшении BMP по Y в 2 раза, время засветки тоже уменьшится в 2 раза?

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 14:05:40
Forward
Конечно, так как число строк сокращается в 2 раза

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 14:09:28
Ruzik
Надо поэкспериментировать при 2400 и более. :)

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 14:14:42
KPG
[uquote="Forward",url="/forum/viewtopic.php?p=3181509#p3181509"]Конечно, так как число строк сокращается в 2 раза[/uquote]
А учитывается ли как то, каким "диаметром" пятна засветки производится засветка?

Re: Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

Добавлено: Вт сен 12, 2017 14:26:50
Forward
KPG писал(а):А учитывается ли как то, каким "диаметром" пятна засветки производится засветка?
Естественно нужно не забыть и K на шкале мощности лазера пропорционально увеличить, чтобы сохранить удельную мощность засветки.
И, да, этот вопрос я уже задавал кучу раз. Но, так как исходный вариант был рассчитан на 600dpi, да и у меня не получалось получить линии тоньше чем 40 мкм в нормальном технологическом режиме (что хорошо согласуется с оптическим разрешением Ordyl Alpha 340), то до 600 dpi по Y шаг можно увеличивать для фоторезиста. Для маски же немного по-другому. Но все будет зависеть от лазера.