Страница 1 из 2

Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Пн мар 14, 2011 13:48:26
DimanVIP
Начал я недавно осваивать технологию фоторезиста. Прикинул что к чему и пока остановился на жидком. Для его сушки используют различные "печки", с 2-мя температурными режимами: 60-70 и 120 градусов. Использовать для этих целей духовку домашние не дадут, вот и приходится собирать свою.
Для этой цели откопал старый системник, поделил внутреннее пространство надвое. Снизу будет печка, сверху отсек для хранения химикалий. Нижнюю часть утеплил.
Для питания самой печки отлично подходит БП, уже встроенный в корпус. И для питания электроники тоже есть отдельный провод.
Мой БП на 200Вт, ток по 12В - 8А. Рассчитал на 5А, взял нихромовую проволоку, намотал. Поставил вентилятор. Попробовал, все работает, до 70 градусов нагоняет за пару минут.
Сейчас собираю электронику. Нарисовал схему:
схема.GIF
(27.36 КБ) 864 скачивания
МК можно было и попроще взять, но у нас этот самый дешевый, 2313 почти раза в 2 дороже.
В качестве индикатора использую встроенный в корпус. Также используются две встроенные кнопки, ТУРБО - будет режим 120, и РЕСЕТ - будет запуск процесса. Дополнительно поставлю 3 кнопки для навигации по меню. Во время работы (запущена сушка), попеременно отображаются температура и время.
Теперь про само меню. В меню настраиваются параметры: 1. Низкотемпературный режим, 2. Высокотемпературный режим, 3. Время сушки, 4. Диапазон начала регулирования, 5. Коэффициент компенсации потерь. Все значения хранятся в EEPROM. И их можно менять прямо в ходе процесса сушки.
Сама регулировка температуры осуществляется по ПИ закону. Если в кратце то при подходе к заданной температуре мощность пропорционально падает, с учетом температуры окружающего воздуха и коэффициента теплопотерь. (температура окружающего воздуха замеряется и запоминтается в начале процесса).
По окончанию процесса включается звуковое оповещение. Пищалка взята с материнской платы.

Вообщем постарался предусмотреть все что только может понадобится. Сейчас все находится в рабочем состоянии на макетке. Печатка уже нарисована. Но пока еще не изготовлена.
Решил выложить сюда, может кто еще чего подскажет, подправит.
Если кому интересно могу вечерком и фотки выложить.

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Пн мар 14, 2011 19:54:35
Wise
да, очень интересно на саму печку посмотреть :)))

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Пн мар 14, 2011 21:51:24
DimanVIP
Изображение
Изображение
Изображение
Кнопки меню будут между индикатором и светодиодами.
И после первых испытаний пришел к выводу что дно тоже надо будет утеплить, да и стенки еще немного.

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Пн мар 14, 2011 22:13:02
Andy61
Если снизу печка, я бы там пороллон не юзал (по-моему так на верхнем фото). Не понравится ему 120 гр. :))
Даже с теплоизоляцией. Какой-бы хорошей она не была.
Распотроши кусок URSA или другой строительной мин. ваты и ей заизолируйся.
Разделение "этажей" я бы сделал "сэндвичем" - 2 слоя фанеры, ДВП или что-там есть под рукой, 2 слоя фольги, а между ними мин.вата.

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вт мар 15, 2011 09:28:47
DimanVIP
У меня по одному краю поролон плотно к спирале прилегает (забыл нахлест учесть), и ничего. А она до 140 нагревается.
С мин ватой конечно лучше будет, НО как мне кажется ее придется чем-то закрывать, иначе по всей сушилке будут "опилки" от нее летать. И отлично оседать на еще не высохшем резисте.

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вт мар 15, 2011 09:40:24
Borodach
Я использую китайскую печку так же с двумя режимами (сушки и дубления), оч. удобно... . :)

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вт мар 15, 2011 13:04:00
Andy61
DimanVIP писал(а):НО как мне кажется ее придется чем-то закрывать,
Фольгой "подоткнуть" плотно, и ничего летать не будет.
Можно перед укладкой фольги пробрызгать из пульверизатора (растения ими сбрызгивают, при глажке используют :)) ) 10-15% раствором "жидкого стекла" в воде.
Сутки сохнуть. И потом фольга. Будет "навсегда" :))
Зато гарантировано при каких-либо аварийных ситуациях не пойдут в комнату пары всякие опасные от теплоизоляции .

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вт мар 15, 2011 16:50:43
DimanVIP
Andy61 писал(а):Можно перед укладкой фольги пробрызгать из пульверизатора (растения ими сбрызгивают, при глажке используют :)) ) 10-15% раствором "жидкого стекла" в воде.
Сутки сохнуть. И потом фольга. Будет "навсегда" :))
Зато гарантировано при каких-либо аварийных ситуациях не пойдут в комнату пары всякие опасные от теплоизоляции .
Шо такое пульверизатор знаю отлично, а вот где достать раствор жидкого стекла?
И для чего он, раствор ентот? Чтобы приклеить фольгу или блокировать опасные пары?

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вт мар 15, 2011 17:35:19
Andy61
Я купил тупо в хозмаге, "Жидкое стекло натриевое", оно-же клей силикатный вульгарный. :))
Разбавишь водой из крана и вперед.
Не даст "пылить" минвате.
PS.Поролон ( в зависимости от типа) - эксплуат. не выше 100 гр.

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Пт мар 18, 2011 22:47:55
DimanVIP
Cделал все как и советовали.
Нашел стекловату, от старого холодильника. Купил жидкого стекла.
Обклеил все в три слоя, и сверху фольгой, пищевой.
Фанерку, на которой раньше крепилась спиралька заменил на текстолит.
А фанерку поставил сверху "бутерброда".

Собрал и поставил плату. Сейчас стоит сушиться на 50 градусах.
Точность получается +/- 1 градус.

После переделки тепло стал держать гораздо лучше.

З.Ы. Если седня фотик успеет зарядиться, седня и фотки выложу.
З.Ы.Ы. Режим в 120 градусов решил пока не использовать, заместо него гораздо веселее промышленным феном дубить. Но ради эксперимента все же попробую, так сказать проверить на что печка способна.

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Пт мар 18, 2011 22:56:44
Andy61
:beer:

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Пт мар 18, 2011 23:11:06
DimanVIP
Как раз пЫфко я сейчас и потягиваю.... После тяжелого трудового дня....
Осталось таймер собрать для установки экспонирования.
И джентльменский набор для фоторезистивной технологии будет полностью готов!

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Сб мар 19, 2011 00:59:46
Andy61
DimanVIP писал(а):будет полностью готов!
Это гут!
А мне привезли из Харькова мощный УФ-светодиод, буду делать световое перо для фоторезиста, если выйдет, конечно.
По всем расчетам должно.
:beer:

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вс мар 20, 2011 15:57:37
DimanVIP
Как и обещал, выкладываю фотки:
Изображение
Изображение
Изображение
Изображение
Изображение
Изображение
Изображение

От такого количества фольги вылезла одна неприятность.
Чтобы ее прогреть уходит очень много времени. К концу цикла сушки(15 мин) температура едва достигает 55 градусов. Зато потом держится очень долго.

Вывод: надо поднимать напряжение, дабы увеличить мощность нагрева.

Может подскажет кто, как можно без больших переделок поднять напряжение по линии 12В до значения 17-19В.
БП: powerman IP-S350Q2-0, 350W. Вот ссылка на схему похожего. Я так понял вся сложность в супервайзере (у меня стоит WT7525).

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вс мар 20, 2011 16:01:04
DimanVIP
Andy61 писал(а):А мне привезли из Харькова мощный УФ-светодиод, буду делать световое перо для фоторезиста, если выйдет, конечно.
Если не секрет, то поделитесь пожалуйста, что планируете с ним делать?

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вс мар 20, 2011 21:33:08
Andy61
DimanVIP писал(а):Как и обещал, выкладываю фотки:
Нормалек!
DimanVIP писал(а):Если не секрет,
Не секрет :))
Платы делаю чаще всего в 1-3 экземпляра, свегда разные.
Надоело морочиться с фотошаблонами.
Попробовал фрезеровку по контуру дорожек ( у меня самодельная CNC-ка :)) ) - некрасиво, и не всегда удобно.
Посему, мысль такова: фокусирую излучение УФ-светодиода небольшой линзой в точку, и "рисую" этой точкой по пленочному фоторезисту. потом сразу в проявку.
Линза, естественно, пластиковая.
Если получу точку 0,5 мм - мне с головой хватит.
Типа такого.

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вс мар 20, 2011 23:04:28
DimanVIP
Andy61 писал(а):Не секрет :))
Платы делаю чаще всего в 1-3 экземпляра, свегда разные.
Надоело морочиться с фотошаблонами.
Попробовал фрезеровку по контуру дорожек ( у меня самодельная CNC-ка :)) ) - некрасиво, и не всегда удобно.
Посему, мысль такова: фокусирую излучение УФ-светодиода небольшой линзой в точку, и "рисую" этой точкой по пленочному фоторезисту. потом сразу в проявку.
Линза, естественно, пластиковая.
Если получу точку 0,5 мм - мне с головой хватит.
Типа такого.
Хорошая идея. Я вот тоже уже давно планирую CNC собирать, похоже скоро начну. Если Ваши испытания пройдут удачно - обязательно повторю.

Вы где-нибудь освещаете эту тему? Чтобы не потеряться и следить за ходом событий.

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вс мар 20, 2011 23:21:46
Andy61
DimanVIP писал(а):Вы где-нибудь освещаете эту тему? Чтобы не потеряться и следить за ходом событий.
Пока нет, дабы не плодить "долгострой" на весьма динамичном форуме :))
По результату - положительному или отрицательному :)) - обязательно запущу ветку в "Изготовлении плат".
А со световыми перьями у нас в СКТБ еще в совковое время машины стояли (но на обычном свете, не УФ) - АДМАП - рисовали весьма неплохо, а такие как сейчас фоторезисты и не снились :))
ЗЫ. У меня от тех машин остались перья под краску 0,8 и 1 мм.

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Вс мар 20, 2011 23:34:40
DimanVIP
Сам себе отвечу на вопрос по БП.
С супервайзером заморачиваться не стал, т.к. информации по ним практически нуль. А время на исследования тратить не охота.
Для экспериментов взял древний АТашный БП. Который был мной в самом начале отбракован, т.к. срабатывала защита при 3А (вместо заявленных 8А). В нем стояла 494, на которою схем море.
Для разработки взял эту:
Изображение
Зачеркнуто то, что ставить не стал. В основном это регулировка тока, мне она ни к чему.
Переменник для регулировки напряжения, заменил на постоянный, получилось как раз 20 В.
Все детали встали как родные, прям как буд-то плата под это и разведена.
Кулер БП запитал от +12 и + 5, раньше так назывались, получилось где-то 10 В.
Вот фото в процессе окончательной сборки:
Изображение
На верхней крышке виды 7805 - для электроники и 7815(7812 не нашел) - для вентилятора внутри сушилки, поэтому дополнительно в разрых провода впаял резюк на пару ватт.
Установил все это хозяйство акурат под обдув вентилятора.
Собрал, запустил. Уже полчаса молотит, полет нормальный.
На режим вышел за 3 минуты. Я доволен.
Сейчас БП отдает, минимум 5-6 А, (хотя раньше от 3 вырубался), воздух на выхлопе чуть тепленький.
З.Ы. Оторвать бы руки тому злодею, который переключатель напряжения на 115 перекинул. Из-за этого не обошлось без традиционных в импульсной технике взрывов, вспышек и вышебленого автомата.

Re: Сушилка для фоторезиста

Добавлено: Пн мар 21, 2011 00:02:19
Andy61
DimanVIP писал(а):На режим вышел за 3 минуты.
Вполне нормально.
DimanVIP писал(а):Оторвать бы руки тому злодею, который переключатель напряжения на 115 перекинул.
А внимательность ? :))
DimanVIP писал(а):Я вот тоже уже давно планирую CNC собирать, похоже скоро начну
Если нет бюджета сразу взять готовые направляющие, винты-гайки и пр. мастер-кит, - делай простой, из "доноров" - принтера старые, стройшпильки и пр, а на нем неспешно сотвори узлы и детали для серьезной машины.