Страница 3 из 7

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Пт фев 21, 2014 07:21:06
psychos
Изображение

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Пт фев 21, 2014 19:59:46
Афган
Чего это нарисовано? :dont_know:


Извиняюсь, понял, это зеркало вместо ф-тета линзы. :)
Идея хорошая, но в ней есть изъяны.
Оси зеркал должны совпадать, иначе, при развертке луча "под углом" получим на "мишени" дугу вместо линии. То есть, источник света надо располагать с одной стороны полигонального зеркала, а стационарное зеркало с другой, чтоб не было помехи отраженному лучу.
И форма зеркала должна быть хитрее, чем полусфера, чтоб ход луча от источника до мишени был одинаковым по длинне при любом положении подвижного зеркала. Только так можно будет обеспечить фокус на всех участках мишени. И еще, стационарное зеркало должно быть закругленным ( в разрезе), чтоб компенсировать люфты в подвижном зеркале.
В общем, такое зеркало нужно чем-то рассчитать и где-то изготавливать. Это не просто, но будет дешевле, чем заказывать за несколько тысяч евро тета-линзу

Пока писал, уже psychos разъяснение написал :)

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Сб фев 22, 2014 15:04:36
psychos
Лазер светит из под дугового зеркала на вращающееся зеркало. От вращающегося луч попадает на дуговое и отражается в низ на ФР. Вся конструкция расположена на каретке струйника, которая медленно пошагово перемещается.

Если сделать правильной формы дуговое зеркало(допустим выточить из колбы лампочки) и нанести отражающий слой той же металлизацией, то такой конструкцией можно светить... только рассчитать геометрию всего этого...

Если всё правильно, то по идее луч сверху будет перпендикулярно падать на плату.А центровать её можно по симметричным штифтам... то есть можно светить даже двусторонние платы.

Для ускорения процесса можно много лазеров натолкать, и каждый будет светить свой сектор тогда можно вообще круговую светилку сделать. тоесть отрезать кольцо от колбы лампы или купить химическую колбу, там стекло толстое.

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Сб фев 22, 2014 18:15:00
doubovitski
psychos писал(а):... тогда можно вообще круговую светилку сделать. тоесть отрезать кольцо от колбы лампы или купить химическую колбу, там стекло толстое.
Только точность изготовления этих стекляшек не подойдёт. Чтобы получить результат с точностью в сотые, нужны поверхности зеркал, юстированные с точностями в микроны, ну а отполированными с атомарными погрешностями.

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Вс фев 23, 2014 10:55:05
psychos
doubovitski писал(а):
psychos писал(а):... тогда можно вообще круговую светилку сделать. тоесть отрезать кольцо от колбы лампы или купить химическую колбу, там стекло толстое.
Только точность изготовления этих стекляшек не подойдёт. Чтобы получить результат с точностью в сотые, нужны поверхности зеркал, юстированные с точностями в микроны, ну а отполированными с атомарными погрешностями.
А что если сделать конструкцию, нарисовать тестовую дугу с контрольными поперечными рисками, отсканить её нарисовать правильную дугу и в программе просто скомпенсировать неровность зеркала...

Насчёт коэффициента отражаемости, согласен, тут нужно поразмыслить... к сожалению я с оптикой не очень, поэтому тут ни чего не могу предложить.

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Вс фев 23, 2014 13:14:42
Dr. Alex
Slabovik писал(а): Источник засветки при этом примерно в метре от засвечиваемой платы....
А сколько длится засветка на таком расстоянии????

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Пн фев 24, 2014 12:14:54
psychos
Афган развиваем мысль, уходим от дугового зеркала:
светим лазер скажем в верх код углом 45 град и полигональным "рисуем полосу" высотой скажем 1 см... лучь примерно перпендикулярный будет , ну скажем 3-5* будет ёлка, не страшно.... то есть ось вращения полигонального параллельна оси движения каретки...

Как такое :))) ????
Изображение

по моему уж проще не куда, нужен термоклей, лазер от "синего луча", зеркало на моторе... контроллер, прошивка :))
Спойлера если ваще под пивом, то можно прикольнуться, поставить лазырь помощней, чтоб бумагу желтую жег и играть в морской бой со спец эффектами =) :kill:

Поздравляю Россиян с олимпийской победой! Соболезную братьям Украинцам :facepalm: !

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Вт фев 25, 2014 02:43:30
Афган
Не, эта идея хуже. Во-первых, вносится дополнительный источник погрешности- направляющие каретки и ходовой винт, а нам нужна довольно высокая точность, точка ведь 42 мкм. Во-вторых, все равно получим расфокусировку по краям (по центру), хотя она будет не большая, при ширине развертки 3-5см, но все же она будет. В- третьих, луч будет падать на мишень не под 90 градусов, что даст небольшую "боковую" подсветку.
Основные проблемы с LSU:
1. Организовать одинаковый фокус на плоскости,
2. Организовать перпендикулярность падения луча на мишень.
3. Желательно (но не обязательно, можно скорректировать программно) убрать нелинейность перемещения луча при вращении полигона.
В оригинале, в LSU, все эти функции (кроме п.2) выполняет "хитрая" ф-тета линза или несколько таковых. Беда в том, что расчитана она на ик спектр. На длине волны 405нм она имеет совсем другое преломление и дает большие потери мощности луча. То есть ее применить не получится. Для наших целей нужно рассчитать и заказать такую линзу из кварца. Стоить это будет, приблизительно, 1500-2000 евров :facepalm: :( :(
То что предлагал ты, с зеркалом, это классная идея, мне понравилось :beer: Думаю, что изготовить зеркало будет дешевле, значит для нас более приемлимо, можно даже попытаться его сделать самому, на станке ЧПУ из куска аллюминия + отполировать, для эксперемента думаю пойдет. Плюс потери в зеркале будут полюбому меньше, чем в линзе.
Вот только надо эту фигню в чем-то обсчитать, промоделировать. Мое мнение, что ось дугового зеркала должна совпадать с осью полигона, может надо будет два зеркала последовательно.
Поискал программы для моделирования оптических систем, нашел целый список: http://optdesign.narod.ru/programs.htm
Вроде хвалят ZEMAX, но мануал к ней как том "Войны и мира". Тут разбираться с прораммой только месяц надо :(

Может у кого был опыт моделирования оптики (сомневаюсь :( ), хотя бы посоветовать, какую программу выбрать?

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Вт фев 25, 2014 15:01:42
Ruzik
А от лазерного принтера ни чего не подойдет сюда?

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Вт фев 25, 2014 17:20:17
Афган
От лазерного принтера подойдет блок LSU, точнее полигонное зеркало с двигателем, драйвером и фотоэлемент с зеркалом начала строки.

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Вт фев 25, 2014 17:28:12
АлександрЛ
Ruzik писал(а):А от лазерного принтера
А по- моему, та же система как раз в лазернике и используется, надо только лазер заменить, и систему "протяжки" платы сделать...

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Вт фев 25, 2014 17:32:09
Афган
АлександрЛ писал(а):надо только лазер заменить, и систему "протяжки" платы сделать...
Да, надо поменять ИК ЛД на УФ и всю оптику соответственно :)

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Ср фев 26, 2014 11:25:15
psychos
не, ты не понял... только 1 зеркало... смотри::
ИзображениеИзображение

alpha - макс угол, который удовлетворяет боковой засветке
betta - макс угол падения луча на мишень
h - высотка строки, которая при этом пулучится.. (мин 2 шага на энкодере протяжки бумаги)
1 шаг энкодера каретки думаю может быть больше 42-45 микрон, но можно же контролировать время между импульсами на номинальной скорости движения каретки... и нет там винта, там лента. Тоесть разгоняем каретку на нужную скорость и пуляем в ФР... думаю не шибко сложно... самое тяжелое- сфокусировать лазер.. но думаю китайскую круглую кварцевую линзу можно купить и посадить на сервопривод. а под мишень поставить вэбку для контроля фокуса...

посмотрел свою фотку, можно даже в картридж всё затолкать =) и будет кррррута =) :kill:

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Чт фев 27, 2014 01:35:10
Афган
Ну вот....., блин. :(
Пол часа сидел писал подробный ответ, а форум - возьми да и выкини меня. :( :( :(
Второй раз "повесть" писать не хочу, скажу кратко.
Идею я понял. Так будет дольше, сложнее программно и искажения будут из-за люфтов полигонального зеркала и оси Х. Единственный плюс- зачительное упрощение оптики.
ИМХО

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Чт фев 27, 2014 06:41:40
psychos
то есть вдоль оси вращения зеркала ? дак оно на пдшипнике запрессовано, и перемещения вдоль оси минимальны... (ни как на комповых вентиляторах)

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Чт фев 27, 2014 09:20:47
Афган
Люфты есть везде, на любом подшипнике. На полигональном зеркале они конечно очень малы, но с учетом того, что оптика будет длиннофокусная, соответственно, расстояние до мишени будет большим, и малейший люфт будет умножаться на расстоянии. Я это не придумал, читал где-то, что в оригинальном локе LSU эти люфты компенсирует тета-линза. В случае с дуговым зеркалом это тоже можно сделать, сделав его немного закругленным в сечении.

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Чт фев 27, 2014 11:20:05
doubovitski
Афган писал(а):Люфты есть везде, на любом подшипнике. На полигональном зеркале они конечно очень малы, но с учетом того, что оптика будет длиннофокусная, соответственно, расстояние до мишени будет большим, и малейший люфт будет умножаться на расстоянии. Я это не придумал, читал где-то, что в оригинальном локе LSU эти люфты компенсирует тета-линза. В случае с дуговым зеркалом это тоже можно сделать, сделав его немного закругленным в сечении.
Прошу прощение, но по-моему, люфты можно снизить практически до 0 только силовым замыканием. Например, люфт перемещения каретки устраняется пазами, треугольными, профрезерованными и прошлифованными вдоль оси движения, у направляющих с двух сторон. Шарики, впрессованные с одной стороны в каретку и вставленные с сильными пружинами в противоположную.... Так можно сделать плавный и безлюфтовый ход. Осевые перемещения устраняются шариком в торце вала, и подпружиненно прижатым к нему.... И так далее. Но устранять люфт оптическими возможностями- это вы погорячились.

Линзы специальной формы позволяют, как я понимаю, не терять фокус при некотором перемещении элементов оптической системы, , но исправлять трек, они не смогут никак.

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Чт фев 27, 2014 11:41:47
doubovitski
Афган писал(а):
АлександрЛ писал(а):надо только лазер заменить, и систему "протяжки" платы сделать...
Да, надо поменять ИК ЛД на УФ и всю оптику соответственно :)
http://www.chipmaker.ru/topic/101309/page__st__20

Там тоже решают ваши проблемы.

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Чт фев 27, 2014 14:29:12
psychos
дельше лампочек ссылок на буржуевые реализации, и слов "да нафиг всё это надо, дешевле краской и кистью" дело у них не пошло...

Re: Проблемы засветки фоторезиста

Добавлено: Чт фев 27, 2014 18:23:56
Афган
doubovitski, люфты есть в любых направляющих и подшипниках. Они могут быть больше или меньше, но они будут. Даже в рельсовых направляющих, которые сделаны с пазами, несколько соток люфт есть. А теперь подумайте, во что превратится люфт в 2 сотки, если закрепленный на этих направляющих луч светит на мишень на расстоянии, скажем в 150мм. Там будет уже не 2 сотки.
Люфт, равный 0 будет только если делать неподвижный источник, причем закрепить его надо надежно.
По поводу компенсации зеркалом, не вижу в этом большой проблемы, достаточно сделать небольшое закругление зеркала в сечении и небольшой люфт будет скомпенсирован. Гораздо труднее вычислить форму такого зеркала для работы с разверткой, вот тут уже без специальных рассчетно-моделирующих программ не обойтись :(
doubovitski писал(а):Там тоже решают ваши проблемы
Поправочка, РЕШАЛИ. Я перелазил по всем подобным темам, но везде эти проекты брошены. На этом форуме тоже была тема http://radiokot.ru/forum/viewtopic.php?f=3&t=87213 где AVR_Maniac запнулся на драйвере ЛД :)))
И выходит, что единственный, кто довел это дело до какого-то логического завершения это вышеупомянутый немец.