Лазерная установка для засветки фоторезиста от AlphaCrow

[Ruzik]

Forward
Установил скорость засветки 50 мм/мин, смотрю на шаг стола в окне программы. 3..4 раза шагает по 20 мкм, затем 25мкм 2 строки, затем 29..33мкм 2..3 строки, потом опять 20 мкм. Это при нормальных настройках программы. В тесте с BMP, в принципе тоже самое.

[SDimok]

[uquote="Ruzik",url="/forum/viewtopic.php?p=3192484#p3192484"]Forward
Установил скорость засветки 50 мм/мин, смотрю на шаг стола в окне программы. 3..4 раза шагает по 20 мкм, затем 25мкм 2 строки, затем 29..33мкм 2..3 строки, потом опять 20 мкм.[/uquote]
Это авторская программа пересчитывает шаги (кол-во шагов на мм в количество точек на дюйм) при накоплении погрешности.
Твой эксперимент может показать результат только при неизменном шаге стола.

[Ruzik]

В тесте с BMP, в принципе тоже самое

Поправочка, это в окне программы отображается тоже самое, а реально стол шагает.. данные с окна программы умноженные на 2.
То есть не по 20 мкм, а по 40 мкм.

Forward
Сейчас попробовал засветить маску с растянутым по Y в 2 раза BMP. В общем идет сдвиг рисунка по Y и это происходит из за того, что нужно смещение камеры по Y по новой настраивать, или как вариант в ini вручную изменять смещение в 2 раза.

Ты как делал то, не пойму?

[Forward]

Установил скорость засветки 50 мм/мин, смотрю на шаг стола в окне программы. 3..4 раза шагает по 20 мкм, затем 25мкм 2 строки, затем 29..33мкм 2..3 строки, потом опять 20 мкм.

Вот поэтому, я и говорил, что правильнее делать не с коэффициентом, а с постоянным шагом.

В общем идет сдвиг рисунка по Y и это происходит из за того, что нужно смещение по Y по новой настраивать, или как вариант в ini вручную изменять смещение в 2 раза

Блин, про смещение (по камере) я совсем забыл сказать . Тут дело в том, что у меня камера практически на оси перемещения лазера (по X).
А в общем случае, его, конечно, нужно пропорционально корректировать, или перенастроить установку для такой работы.

[SDimok]

Что бы не скучно было ...
Запилил новый контрол ...
добавил zoom колесом мышки после клика на изображении
можно мышкой таскать изображение.
Возврат в центр кнопкой со стрелками.
Попробуйте - удобно нет?

[Ruzik]

SDimok
Удобно.
А с отображением размера BMP что то делал?

[SDimok]

[uquote="Ruzik",url="/forum/viewtopic.php?p=3192615#p3192615"]А с отображением размера BMP что то делал?[/uquote]
Временно закоментировал, контрол новый, кое где еще допиливать:)

[Ruzik]

Понятно, если загрузить гербер, потом загрузить BMP, там размер начинает какой то не адекватный отображаться (поэтому спросил).
***************************************************************************************************

Forward
Делал для теста 2 платки (тесты засветки маски).
Одну светил стандартно, скорость 500 мм/мин., лазер 100%, общее время засветки 17 минут. На плате присутствует полосатость, нужно лазер расфокусировать, чего не делал..



Вторую с растянутым по Y BMP, разрешение уменьшил 2 раза, вместо 400 поставил 200 (по Y).
Скорость поставил уже 700 мм/мин, лазер 100%, время засветки 25 минут, результат лучше, полосатости почти нет.



Вот думаю, увеличить размер по Y в три раза и сделать скорость засветки 1 м/мин. Наверно полоски совсем пропадут и ожидаемое время засветки в этом случае минут 30.

[SDimok]

[uquote="Ruzik",url="/forum/viewtopic.php?p=3192620#p3192620"]Вторую с растянутым по Y BMP, разрешение уменьшил 2 раза, вместо 400 поставил 200 (по Y).
Скорость поставил уже 700 мм/мин, лазер 100%, время засветки 25 минут, результат лучше, полосатости почти нет. [/uquote]
Здорово!
В BMP чем выгружал?

[Ruzik]

SDimok
Открыл гербер в твоей версии, сохранил из нее в BMP, потом в редакторе ACDSee 10 изменил пропорции. Засвечивал из связки HLDI_SW101 прошивка 036.

[SDimok]

[uquote="Ruzik",url="/forum/viewtopic.php?p=3192629#p3192629"]SDimok
Открыл гербер в твоей версии, сохранил из нее в BMP, потом в редакторе ACDSee 10 изменил пропорции. Засвечивал из связки HLDI_SW101 прошивка 036.[/uquote]
Надо с пропорциями поколдовать...
Может на выходные запилю.

[Ruzik]

Смотри, я загрузил гербер при моем разрешении 1200, затем полученный BMP растянул по Y в 2 раза. Не страдает ли качество по Y в этом случае?

Может загружать гербер при 2400 разрешении, а потом BMP просто по X сжимать в 2 раза (по Y не трогать), может так более корректно будет?

[Forward]

На плате присутствует полосатость, нужно лазер расфокусировать, чего не делал..

Лазер трогать не надо.
По маске вопрос - какая?
Далее... для засветки маски требуется энергии в 6-10 раз больше, чем для фоторезиста, но это и так понятно.
Мощность излучения лазера - постоянна (выставлена на 100%). Соответственно, уменьшая межстрочный интервал, мы увеличиваем энергию засветки на единицу площади. Но, мне кажется, что уменьшать шаг дальше не стоит.
Кстати, какой K для фоторезиста?
Просто нужно подобрать оптимум для каждого типа маски, толщины ее слоя, и т.д. при неизменности всего остального.
И, честно говоря, я не наблюдал полосатости маски в своей практике даже на стадии настройки ни на одной установке, хотя из глянцевой получалось сделать полуматовую... но... не полосатую. Правда вся маска на разрешении х2. Скорость для маски - 1000 всегда. FSR-8000.
И, вот сейчас, я бы точно провел тест на минимальную ширину засветки одной линии на резисте и на маске при рабочих параметрах. Это поможет в дальнейшем при подборе технологических режимов.

[Ruzik]

Маска китайская.. http://radiokot.ru/forum/viewtopic.php? ... 5#p2260005
Старая уже, даже видно как на меди лежит крупинками (3,4 фото особенно).
Резист свечу от 0,3 до 0,5, разницы не заметил. Если больше, то пересвет между мелкими деталями.

И, вот сейчас, я бы точно провел тест на минимальную ширину засветки одной линии на резисте и на маске при рабочих параметрах. Это поможет в дальнейшем при подборе технологических режимов.

Как это сделать?

[Forward]

Маска китайская..

Ну если ее много, то имеет смысл подбирать параметры... 650-й в помощь...

Как это сделать?

Нарисовать дорогу шириной меньше разрешения установки, например 15 мкм или, для надежности, 10 мкм, то есть 0,01 и попытаться ее засветить, проявить, протравить и... посмотреть на результат. Дорог можно несколько... для статистики Можно только по оси Х.

0,3 * 8 = 2,4. Это если светочувствительность маски ниже чем у резиста в условные 8 раз. Тогда при эквивалентных скоростях засветки и К=1 для маски плотность засветки должна быть в 2,4 раза выше по сравнению с резистом. Алгоритм линеен.

И как располагается овал пятна лазера по отношению к осям?

[Ruzik]

протравить и... посмотреть на результат

10 мкм протравить? Это вряд ли получится, разрешение фоторезиста 40 мкм, да и если получится с фоторезистом, то протравить нет, слетит фр после 3 минут травления.

И как располагается овал пятна лазера по отношению к осям?

Если считать такой замер корректным, то так, примерно 35..40 градусов..

И, честно говоря, я не наблюдал полосатости маски в своей практике даже на стадии настройки ни на одной установке

В теме несколько раз проскакивало про полосатость, решается расфокусировкой лазера.

[Forward]

10 мкм протравить? Это вряд ли получится,

Естественно не получится 10 мкм. Получится толщина минимальной линии засветки - а сколько - это вопрос, так как для маски и резиста эта величина будет разной, как и для разных лазеров и т.д. Можно и не травить, но у меня получалось... около 35 мкм. Отсюда можно плясать с определением шага экспонирования дальше.

В теме несколько раз проскакивало про полосатость, решается расфокусировкой лазера.

На рабочей установке я не меняю фокусировку, не делаю подкладок, экспонирую и резист и маску (блестит... ) на стеклотекстолите толщиной 1 - 1.5мм.
Зачем лишние движения, если потом опять производить все настройки по-кругу? Особенно, если результат устраивает?

[Ruzik]

Зачем лишние движения, если потом опять производить все настройки по-кругу?

Так поэтому и не стал заниматься расфокусировкой, а сделал по твоему совету растянув Y.
Можешь ответить по этому поводу?..

Смотри, я загрузил гербер при моем разрешении 1200, затем полученный BMP растянул по Y в 2 раза. Не страдает ли качество по Y в этом случае?
Может загружать гербер при 2400 разрешении, а потом BMP просто по X сжимать в 2 раза (по Y не трогать), может так более корректно будет?

[smacorp]

На рабочей установке я не меняю фокусировку, не делаю подкладок, экспонирую и резист и маску

Чудес не бывает. То, что Вам не нужно ни фокус менять, ни подкладок класть, говорит лишь о том, что у Вас или не совсем качественная оптическая система, или фокус лазера выставлен неидеально, или всё это вместе. При отличном фокусе лазера лично у меня даже на фоторезисте видна полосатость при 720dpi. Поэтому, лазер пришлось несколько расфокусировать. А вот расфокусировав лазер действительно можно подобрать этот "расфокус" так, что и фоторезист будет засвечивать хорошо, и маску без подкладок.

[Ruzik]

Настаивал фокус так.. [uquote="Ruzik",url="/forum/viewtopic.php?p=3140322#p3140322"]А лазер настроить проще всего так. Берем баллончик с черной краской, красим бумагу. Затем одеваем очки и фокусируем лазер. Фокусировка считается нормальной, когда точка лазера на бумаге станет оранжевого цвета.[/uquote]Слишком резко видать настроил.
Уточнение, очки были зеленого цвета.