Проблема "ORDYL не совместим с персульфатами" успешно преодолена!
Все дело оказалось в банальной перезасветке фоторезиста, что вызвало необратимое изменение его свойств. Т. к. ФР является индикаторным, я допустил ошибку, ориентируясь в основном на "контрастность" изображения после засветки 10мин и более, не отдавая себе отчет, что это достигается в том числе нежелательным боковым задубливанием зазоров. Таким образом, время экспонирования весьма критично, и для зазоров 0.2 мм и менее должно уменьшаться.
Я определил оптимальное время засветки для ДРТ-240 с расстояния 20см как 135сек. Хотя и 60 сек уже приводит устойчивым результатам. Я также склонен считать, что для получения зазоров около 0.1 мм именно 60-80сек станет оптимальным временем.
После травления платы в персульфате натрия сделал несколько фоток под микроскопом, чтобы проверить "несовместимость" ФР и персульфата. Результаты приятно удивили меня! Таких эффектов как я описывал ранее в этой теме нет и в помине - ни о каких "волосках" по краю ФР не может быть и речи.
Очень показательная картинка проводник-зазор, где видно как окаймлена контактная площадка "прозрачным гелем". Подозреваю, это обеспечит устойчивость травления при его сильной неравномерности. Если поверхность плохо подготовлена или плату вынимали и сушили перед травлением так, что медь успевала окислиться, то это может привести к дефектам как на след рисунке. Здесь ситуация такова, что уже вся плата протравилась, но в паре самых ответственных мест в зазорах TQFP64-0.5 травление приостанавливается. Пока не представляю как с этим можно бороться когда грянет по факту ).
Конечно, величины проводник зазор TQFP возможно далеки от совершенства, но... это уже и не брак! Кроме того, фотошаблон у меня двухслойный для увелич опт плотности, поэтому огрехи несовместимости слоев на таких малых зазорах играют пожалуй ведущую роль.
Итак, ориентироваться на "качество/контраст" картинки во время тестов на время экспонирования нельзя ни в коем случае! Только смотреть в микроскоп! Если ФР Ордул свежий, то - ориентируемся на тех паспорт изготовителя, если старый - по микроскопу...
Перед проведением опытов "затарился" перекисью водорода на всякий случай. Цена 100мл 3% перекиси у нас аж 17.50руб Так и хочется цитировать Путина: "Вы что, с ума сошли???" )))
- Вложения
-
- Defect2.jpg
- Плата сушилась перед травлением. Микроскопирование заняло около 30мин. Затем травилась в персульфате.
- (142.43 КБ) 841 скачивание
-
- Проводник-зазор.jpg
- TQFP64-0.5mm В Altium: КП=0.3mm Зазор = 0.2mm
- (102.65 КБ) 1066 скачиваний


