zmulian писал(а):Как ведет себя мороженая маска?
Не знаю. Я вообще сомневаюсь, что маску можно заморозить до кардинального изменения свойств. Разве что специально на много-много дней засунуть в морозильник, но вряд ли кто такой ерундой занимался.
zmulian писал(а):что она растворяется хлопьями. То есть получается не просто мутный проявитель, а в этом мутном проявителе плавает какая то более крупная фракция. У нее хуже адгезия
Это чем-то напоминает белую маску FSR-8000. Она тоже забавно проявлялась и плохо держалась, если не применять одну хитрость. Может быть, пересортица и у Вас просто не XV501T-4? Косвенно это можно проверить пропорцией смешивания - в какой пропорции указано смешивать у Вас?
zmulian писал(а):какую засветку Вы ставите относительно Вашего фоторезиста 340 альфа и маски. Я свечу маску примерно в 4 раза сильнее чем альфу. Я на HLDI изменяю еще и ток.
Я свечу только лазером. Скорость каретки и ток лазера одинаковы и для фоторезиста, и для маски. Отличаются только мощность лазера и шаг стола. Для Alpha 340 мощность 0.13, шаг - 15 мкм., для белой XV501T-4 - мощность 1, шаг - 10 мкм. Получается, что это существенно больше, чем Ваши 4 раза - если я не туплю, то у меня маска светится почти в 12 раз сильнее фоторезиста.