Мне, в очередной раз, подумалось про "К".
Тут Forward говорил
Исходные данные:
- энергия засветки для фоторезиста ordyl alpha 40 - 100 mJ/cm2;
- энергия засветки для маски FSR-8000 - 300 - 600 mJ/cm2;
- мощность лазерного луча, например 20мВт;
- размер пикселя задается самостоятельно;
- скорость перемещения - задается самостоятельно
Далее - только операции деления и умножения.
- мощность лазерного луча, 100мВт или 100мДж/с
- размер пикселя при разрешении 720dpi: 2,54см/720 = 0,003537604 см (имеется ввиду только какой-то один линейный размер ?)
- тогда площадь 0,003537604 *0,003537604 = 1,24452E-05 см2
- скорость 100см/с
- требуемая энергия засветки для фоторезиста riston 215: 35-90 мДж/см2, берем 90 мДж/см2
- тогда на одну точку: 90 * 1,24452E-05 = 0,001120069 мДж
- время пока лазер пролетает точку 0,00353760 см / 100 см/с = 3,52778E-05 с
- мощность излучения на точку(?) 0,001120069 мДж / 3,52778E-05 с = 31,75 мДж/с (мВт)
- тогда К = 31.75мВт / 100 мВт = 0.3175
Для маски аналогично. Но тут сразу видно, чувствительность маски в 600/90 = 6.67 раз меньше. Значить К должен быть в 6.67 раз больше, но он не может быть больше 1. Значить уменьшаем скорость или увеличиваем разрешение.
Покритикуйте.
Кто как подбирал режим экспонирования ? Опытным путем или считали ?