Ruzik писал(а):evsi
Спасибо за наводку, перепробую все что можно. Просто столько времени потерял на это хим. олово и отступать так просто как то не входит в мои планы.
Да, имеет смысл глянуть через лупу на края дорожек (точнее даже на фоторезист) после травления. Если они сильно рваные (а край фоторезиста подтравлен и на виден на просвет), то это еще может быть недостаточная экспозиция. С нормальным фотошаблоном можно просто увеличить время экспозиции, а если шаблон не очень контрастный, то тогда только вторая экспозиция после проявки (раз хотя бы в пять больше первой экспозиции).